特長
- 1.東京大学研究室発の技術
- 沿面放電は沿海部の高電圧碍子などでは容易に観測されますが、それを東京大学電気工学科増田研究室にて小型化・簡便化をおこない、プラズマ生成の心臓部である沿面放電素子を開発しました。当社にて実用化されてから30年以上の実績があります。
- 2.長寿命
- 母材のセラミックスと電極(金属)を一体で焼成しています。印刷あるいは貼付た電極構造の物に比べ、きわめて長寿命です。
- 3.高強度
- 本当社の沿面放電素子は、セラミックス製のため高強度です。放電表面を紙やすりなどで表面を擦っても問題ありません。
コールドプラズマ COLD PLASMA
コールドプラズマとは (別名 非平衡プラズマ、弱電離プラズマ)
放電場では軽い電子が印加電界からエネルギーを受け取り、衝突により重い分子にエネルギーが伝達される。この場合、エネルギー保存則と運動量保存則が満たされている。その結果、重い分子の運動エネルギーは殆ど増加せず、電子のエネルギーは分子の内部エネルギーに変換され、分子は電離したり励起することになる（化学的に活性化される）。
ここで、
１）電子と分子の衝突の少ない場合（真空）
２）電子のみを加速しイオンを加速しない選択的な加速を行う場合
３）それでも、生ずるイオンの僅かな加速や電子と分子の衝突によって生ずる分子の僅かな加熱が時間的に累積して分子の運動エネルギーが大きくならないように冷却したり緩和したりすることにより、電子の運動エネルギーは大きいが、イオンや分子のエネルギーは小さい非平衡状態を作り出すことができる。この状態をコールドプラズマという。
SPCP Surface-discharge-induced Plasma Chemical Process
セラミックの表面に放電電極、背面または内部に誘導電極を設けた放電素子（SPCP素子）に高周波高電圧を印加することで、電子を加速するとともに、セラミック表面でガスを冷却します。
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高純度アルミナセラミックの表面に放電電極を、セラミックの内部（背面）に誘導電極を設け、両電極間に高周波高電圧を印加すると、放電極からセラミックに沿って沿面ストリーマが進展します |
・SPCP素子(上)と放電(下)
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